一种多层陶瓷基板气密性检测装置
专利号：2020104245287专利权维持
申请日：
2020-05-19
发布日期：2023-02-01
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专利摘要
本发明公开了一种多层陶瓷基板气密性检测装置，包括定位上料装置、机械手、对中定位装置、真空接头、真空橡皮、喷枪和质谱检漏仪；定位上料装置包括上料筒和顶升板；若干块待测的多层陶瓷基板垂直堆叠放置在顶升板顶部；真空橡皮具有空腔窗；机械手底部设有吸盘和弹性压框；弹性压框同轴套设在吸盘外周的机械手底部，弹性压框的截面宽度不小于0.5mm；对中定位装置包括相互垂直的横向对中组件和竖向对中组件；横向对中组件和竖向对中组件均包括两块定位板。本发明能使整个检测过程均自动完成，自动化程度高，同时能准确控制多层陶瓷基板外边缘与空腔窗边缘之间的间距，且压紧位置和压紧力保持一致，从而使得气密性检测结果可靠、准确度高。
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