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发明专利 发明专利
一种微米级电子束焦斑尺寸的光学测量装置及其方法
专利号:2011103383558等年费滞纳金
申请日: 2011-10-31 发布日期:2017-05-09

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专利摘要 专利摘要
本发明涉及电子技术领域,具体涉及一种光学测量装置及其方法。一种微米级电子束焦斑尺寸的光学测量方法,电子束束斑轰击半导体面板,半导体面板自发辐射,发出光束,利用光学测量方式测量光束的光强信息,进而得到电子束束斑。有益效果:由于采用上述技术方案,本发明的光学测量方法的实现方便、操作简单,具有测量速度快、溅射因素影响小、测量数据直观特点。
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