申请/专利权人：安赛乐米塔尔公司

申请日：2022-09-01

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117941042A

主分类号：H01L21/48

分类号：H01L21/48;H01L23/373

优先权：["20211019 IB PCT/IB2021/059607"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本发明涉及一种用于制造散热器的方法，该方法包括以下步骤：i.将粘合剂沉积在至少一个石墨层的主表面上，以获得涂覆有粘合剂层的至少一个石墨层，其中，ii.将涂覆有粘合剂层的所述至少一个石墨层定位在彼此的顶部上，以便形成石墨层和粘合剂层交替的第一层堆叠件；iii.将厚度为10μm至200μm的石墨层定位在所述第一层堆叠件上以便形成第二层堆叠件，其中石墨层作为顶层和底层；iv.用7MPa至20MPa的压力对所述第二层堆叠件进行压缩，以形成石墨基层压件；v.对所述石墨基层压件进行加热，以便除去粘合剂的溶剂。

主权项：1.一种用于制造散热器的方法，所述方法包括以下步骤：i.将粘合剂1沉积在至少一个石墨层2的主表面上，以获得涂覆有粘合剂层10的至少一个石墨层2，其中，a.所述粘合剂层10的厚度为0.5μm至10μm，并且所述粘合剂层10包括溶剂，b.所述至少一个石墨层2的厚度为10μm至200μm，并且所述至少一个石墨层2具有两个相反的主表面，ii.可选地，将涂覆有粘合剂层的所述至少一个石墨层定位在涂覆有粘合剂层10的至少另一石墨层2的顶部上，以便形成石墨层和粘合剂层交替的第一层堆叠件3，iii.将厚度为10μm至200μm的石墨层20定位在所述第一层堆叠件3上以便形成第二层堆叠件4，其中石墨层作为顶层和底层，iv.用7MPa至20MPa的压力对所述第二层堆叠件4进行压缩，以形成石墨基层压件5，v.对所述石墨基层压件5进行加热，以便除去所述粘合剂的所述溶剂。

全文数据：

权利要求：

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